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不銹鋼真空熱處理可依據鋼種的不同，用于退火、固溶化、淬火、回火、去應力等處理。

（1）設備的選擇。真空熱處理爐有不同的型式（立式、臥式、組合式等），不同的加熱熱源（電阻加熱、感應加熱、電子束加熱、等離子加熱等），不同的加熱方式（外加熱、內加熱等）。按使用溫度可分為低溫爐（≤700℃）、中溫爐（>700～1000℃）、高溫爐（>1000℃），按極限真空度可分為低真空（1.33×103～13.3Pa）、中真空（13.3～1.33×10-2Pa）、高真空（1.33×10-2～1.33×10-4Pa）、超高真空（1.33×10-4Pa以上）。

對于不銹鋼真空熱處理來說，主要考慮設備操作方便，系統安全可靠，極限真空度達到13.3～1.33×10-2Pa即可滿足使用要求。更高的極限真空度要求會增大設備成本。壓升率不大于0.6Pa/h，溫度均勻性要高，溫差一般不大于±5℃，具有可滿足冷卻需要的氣冷或油冷裝置。

（2）不銹鋼真空熱處理操作要點。

①考慮到真空熱處理加熱特點，不銹鋼工件在真空爐中擺放需要保留一些間隙，保證工件各個表面都能熱處理到位。

②由于不銹鋼工件的加熱工藝溫度比較高，通常在1000度以上，所以需要讓工件在真空熱處理爐內在800度左右預熱一段時間，不銹鋼體得到一個緩沖適應高溫后，緩步升至工藝要求溫度。

③按照工藝要求讓不銹鋼工件在真空熱處理爐內加熱一定時間。

④真空度的調整對工件熱處理的質量也至關重要，需要根據操作經驗合理選擇真空度。

⑤為了提高工件的韌度，通過高溫熱處理后需要在低溫區回火一段時間。

⑥不銹鋼工件真空熱處理結束出爐后，采用合適的方式如空冷，油冷，爐冷進行冷卻處理。